X 射线荧光光谱如何分析镀（涂）层

♦ 精东黄色视频软件荧光光谱通常用于分析均匀样品中的成分含量。对于大多数样品来讲，样品中被激发的各个元素的精东黄色视频软件荧光只来自于样品表面，样品内部的精东黄色视频软件荧光被样品本身吸收了。所以，精东黄色视频软件荧光信号的强度与样品的厚度无关。这种样品称之为无限厚样品。

 

♦ 当样品很薄时，比如镀层样品，样品中被激发的精东黄色视频软件荧光可能会穿透镀层，镀层的厚薄会影响精东黄色视频软件荧光信号的强弱，镀层越厚，镀层中被激发的精东黄色视频软件荧光信号就越强。

 

♦ 当镀层的厚度或镀层的成分发生变化时，精东黄色视频软件荧光的信号会随之变化。通过建立镀层厚度和成分与精东黄色视频软件信号强度的关联关系，就可以分析镀层的厚度和成分。

 

 

镀层样品

 

非无限厚样品

 

 

当样品的厚度达不到无限厚时，如镀层样品，精东黄色视频软件荧光信号的强度取决于：

 

  ♦ 镀层的厚度

  ♦ 镀层中各元素的含量

 

2种分析镀层厚度的方法

 

发射方法和吸收方法

 

 

 

测量镀层中的元素

 

发射方法

 

 

测量基底元素

 

吸收方法（镀层对基底元素的吸收）

 

精东黄色视频软件荧光和镀层厚度的关系

 

 

基底元素信号与镀层厚度的关系

 

 

发射方法可以分析的镀层厚度：

 

<产生90%的信号的厚度

 

 

吸收方法可以分析的镀层厚度：

 

<3 × 吸收90%信号的厚度

 

 

  ♦ 镀层越厚，对基底元素的精东黄色视频软件荧光信号的吸收就越严重

  ♦ 吸收方法可以分析的厚度：3倍的90%吸收的厚度

  ♦ 发射方法适合测量薄镀层，吸收方法适合测量厚镀层

例子1：

 

采用发射方法测量镀层 

 

  ♦ 样品: （探测器窗膜）聚合物上镀了23 nm的Al

  ♦ 需要输入的信息

 

  1.基底材料：100%CH₂

  2.镀层材料：100% Al

  3.镀层密度：2.7g /cm³

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  ♦ 测量的谱线：Al Ka1

  ♦ 镀层软件的分析结果：23.2 nm

  ♦ 通过测量镀层材料中 Al Ka1 ，根据Al Ka1 的发射情况，计算铝镀层的厚度。

 

例子2：

 

采用吸收方法测量镀层

 

  ♦ 样品：Zn的上面镀了10 µm的Al

  ♦ 需要输入的信息

 

  1.基底材料：100% Zn

  2.镀层材料：100% Al

  3.镀层密度：2.7g /cm³

 

  ♦ 测量的谱线：Zn Ka1

  ♦ 镀层软件的分析结果：9.74  µm

  ♦ 通过测量基底材料中Zn Ka1，根据铝镀层对 Zn Ka1 的吸收情况，计算铝镀层的厚度。

ML-QUANT 多层膜分析软件

 

可以分析各层的成分和厚度